光刻装置、器件制造方法和可更换的光学元件

摘要

一种光刻装置，在其投影系统的光瞳平面中具有更换光学元件的组件。该光学元件可以是光瞳滤光器，并且可以与中间掩模标准规定的物理尺寸一致，例如具有大体上等于5、6或9英寸的侧边。