一种缩短外延尾气处理器维护时间的方法及装置

摘要

一种缩短外延尾气处理器维护时间的方法及装置。方法是在水洗法的基础上，通过氮气的吹扫，进气口的絮状硅化物脱落到水槽内，利用水泵抽取水槽内的水，同时由于水泵的抽力，漂浮在水面上的絮状硅化物被聚集在漏斗内，打开化学液阀门，启动化学泵，将浓碱加入漏斗内，在浓碱的作用下，硅化物被溶解，通过反复的加水、抽水达到将水槽内絮状硅化物排空。本发明优点是：引入自动加碱和氮气吹扫管路，在不拆开尾气处理器的基础上，通过对尾气处理系统的改进，可以减少系统的维护时间、延长维护周期，整体上提高外延工艺的生产效率，在整个维护过程避免了相关管路的拆卸，从而避免的管路中残余气体的泄漏。