燃焼－スクラバー体型「三菱－DAS排ガス除害装置(ESCAPE INLINE)」 - 水、燃料ガス使用量の大幅削減、装置メンテナンス時間大幅短縮の実現

摘要

平成15年度に入り、わが国半導体製造各社は、300ミリウエハーに対応した製造ラインの新設、あるいは増設の大型計画の年内具体化を、相次いで発表している。 300ミリウエハーライン向排ガス除害装置に要求される仕様は、従来の200 mmウエハーライン向と比較した場合、同一除害効率を保ちつつ、スタラビング水使用量、燃料ガス使用量の削減、メンテナンスコストの削減等において、更なる高度化が必要とされている。 本項では、最初に装置の概要を説明し、次ぎに、300 mmウエハーライン用として高い注目を浴びつつある特長について紹介を行う。