靶/靶座结构和形成靶/靶座结构的方法

摘要

本发明包括靶/靶座结构和形成靶/靶座结构的方法。所述靶和靶座可以通过适当的夹层互相结合。所述靶可以含有铝、铜、钽和钛中的一种或多种。所述夹层可以含有银、铜、镍、锡、钛和铟中的一种或多种。本发明的靶/靶座结构可具有至少20ksi的结合强度，并且靶内平均晶粒尺寸小于80微米。