铜蚀刻剂的再生和硫酸铜的回收

摘要

本发明提供使来自铜蚀刻工艺的含氯化铜和盐酸的废酸性溶液再生的方法，这通过使酸与硫酸一起蒸馏的方法而进行。在一个实施方式中，该方法包括(a)提供含至少约10wt％氯化物和至少约5％溶解的铜的废蚀刻剂；(b)向该废蚀刻溶液中加入相对于每摩尔溶解的铜至少约2摩尔的硫酸，从而将氯化铜转化为盐酸和沉淀的硫酸铜；(c)将步骤(b)得到的混合物蒸馏，使至少部分盐酸汽化；(d)使汽化盐酸的至少一部分冷凝；(e)从残余液体中分离出沉淀的硫酸铜的至少一部分，其中所述的残余液体含硫酸；和(f)再次使用残余液体的至少一部分作为步骤(b)的硫酸源。