公开/公告号CN101207061B
专利类型发明专利
公开/公告日2010-09-29
原文格式PDF
申请/专利权人 东京毅力科创株式会社;
申请/专利号CN200710154402.7
申请日2007-09-11
分类号
代理机构北京尚诚知识产权代理有限公司;
代理人龙淳
地址 日本国东京都
入库时间 2022-08-23 09:05:12
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2010-09-29
授权
授权
2008-08-20
实质审查的生效
实质审查的生效
2008-06-25
公开
公开
机译: 基板载置台,基板载置台的制造方法,基板处理装置,流体供给机构
机译: 基板载置台及其制造方法,基板处理装置以及流体供给机构
机译: 基板载置台及其制造方法,基板处理装置以及流体供给机构