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碳系材料突起的形成方法及碳系材料突起

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摘要

本发明提供一种碳系材料突起构造的形成方法。该碳系材料突起构造的形成方法包括：在金刚石基板(10)上涂布抗蚀剂(11)的工序；在该涂布好的抗蚀剂(11)上依照规定的配置规则开设孔(12)，以使该孔(12)的壁(12b)从开口部(12a)朝向里侧形成倒锥形的方式加工的工序；从开口部(12a)侧开始蒸镀掩模材料，在孔(12)的内部形成掩模蒸镀物(14)的工序；将蒸镀于抗蚀剂(11)上的掩模材料(13)与抗蚀剂(11)一起提离的工序；将掩模蒸镀物(14)作为掩模而蚀刻金刚石基板(10)，形成碳系材料突起的工序。

著录项

公开/公告号CN1934671B

专利类型发明专利
公开/公告日2010-09-22

原文格式PDF
申请/专利权人住友电气工业株式会社;
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申请/专利号CN200580009107.1
发明设计人西林良树;宫崎富仁;服部哲也;今井贵浩;
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申请日2005-03-24
分类号
代理机构中科专利商标代理有限责任公司;
代理人李香兰
地址日本大阪府
入库时间 2022-08-23 09:05:11

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2014-05-21

未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01J 9/02 授权公告日:20100922 终止日期:20130324 申请日:20050324

专利权的终止
2010-09-22

授权

授权
2007-05-16

实质审查的生效

实质审查的生效
2007-03-21

公开

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