真空蒸镀机台的蒸镀源装置及其蒸镀方法

摘要

本发明提供一种真空蒸镀机台的蒸镀源装置及其蒸镀方法，该真空蒸镀机台包括有复数蒸镀源装置。每一蒸镀源装置包括有主要蒸镀源、至少一备用蒸镀源以及控制电路，控制电路分别与该主要蒸镀源以及备用蒸镀源电性连接，所述主要蒸镀源包括有一主要蒸镀材料，而所述备用蒸镀源包括有一备用蒸镀材料，当所述主要蒸镀源的所述主要蒸镀材料耗尽时，所述控制电路会激活所述备用蒸镀源进行蒸镀。本发明可以提高蒸镀制造工艺的生产效率。