内酯化合物、含内酯的单体、它们的聚合物、使用该聚合物的抗蚀剂组合物、使用该抗蚀剂组合物的图形形成方法

摘要

本发明涉及新的第1-第4内酯化合物。第1内酯化合物用式(1)表示，[化18]式中，X表示CH₂、CH₂CH₂、O、S或NR¹，R¹表示氢原子，碳数1-10的直链状，分枝状或环状烷基，该烷基的氢的一部分或全部可以用氟原子取代，此外，烷基的一部分也可以含有具有氧原子、硫原子、氮原子、碳-碳双键、羰基、羟基或羧基的原子团。