在晶体生长过程中具有熔体掺杂功能的晶体生长装置

摘要

一种在晶体生长过程中具有熔体掺杂功能的晶体生长装置，它包括：生长室，该室内有一用于熔化生产晶体原料的坩埚；位于生长室上方，用于接收从坩埚内的熔体中提拉出的晶体的提拉室；拉晶工具，拉晶工具在其下端处有一籽晶夹持器；同时设置了用于升降带籽晶的拉晶工具的装置，在生长室的侧上方装有一个独立在提拉室以外，与生长室相通且保持真空密闭的掺杂装置。掺杂装置与生长室相通且保持真空密闭，因此在进行掺杂时不需要进行生长室/提拉室的隔离操作。不占用提拉室内拉晶工具，具备了在拉晶过程中对熔体进行掺杂的功能，且装置结构紧凑，操作方便，能缩短生产掺杂晶体时间，尤其适合于掺杂低熔点、易升华掺杂剂的硅晶体生长过程。