光致等离子体温度空间分布的探测装置及探测方法

摘要

本发明涉及光致等离子体温度空间分布的探测装置及其方法。将一种多束单根光纤作为探测和传输介质，采用二维位移台精确定位后，多束一排单根光纤同时采集并输出光致等离子体某一截面的光谱，光谱仪记录下采集到的信号；将记录下的光谱信号经过逆变换算法拟合出光强曲线，通过相对光强法计算出某一截面上若干点的温度，得出某一截面的二维温度分布。并且也可通过多束多排光纤同时探测等离子体多个截面，得出三维温度分布。本发明所述光致等离子体温度空间分布的探测装置及其方法所能测得的温度高、准确度高，可用于激光加工在线检测、质量控制及机理研究，并可推广到所有光谱光源的研究。