法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-09-12
专利权的转移 IPC(主分类):H01L 21/304 登记生效日:20170824 变更前: 变更后: 变更前:
专利申请权、专利权的转移
2010-09-01
授权
授权
2010-09-01
授权
授权
2006-05-10
实质审查的生效
实质审查的生效
2006-05-10
实质审查的生效
实质审查的生效
2006-03-15
公开
公开
2006-03-15
公开
公开
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机译: 化学机械研磨用浆料组合物,利用了该浆料组合物的半导体装置的表面整平方法以及浆料组合物的选择比例控制方法
机译: 用于化学机械抛光的浆料组合物,使用该浆料组合物的半导体元件表面的平坦化方法以及控制浆料组合物的选择比例的方法
机译: 用于化学机械抛光的浆料组合物,使用该浆料组合物的半导体元件表面的平坦化方法以及控制浆料组合物的选择比例的方法