公开/公告号CN101256942B
专利类型发明专利
公开/公告日2010-06-02
原文格式PDF
申请/专利权人 应用材料股份有限公司;
申请/专利号CN200810082733.9
申请日2008-02-27
分类号H01L21/00(20060101);H01J37/00(20060101);
代理机构11006 北京律诚同业知识产权代理有限公司;
代理人徐金国
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2022-08-23 09:04:44
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-03-10
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L21/00 授权公告日:20100602 终止日期:20190227 申请日:20080227
专利权的终止
2012-02-08
专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):H01L21/00 变更前: 变更后: 申请日:20080227
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
2012-02-08
专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):H01L 21/00 变更前: 变更后: 申请日:20080227
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
2010-06-02
授权
授权
2010-06-02
授权
授权
2008-10-29
实质审查的生效
实质审查的生效
2008-10-29
实质审查的生效
实质审查的生效
2008-09-03
公开
公开
2008-09-03
公开
公开
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机译： 使用光发射光谱法/残留气体分析仪结合离子电流进行剂量测定
机译： 使用残留气体分析仪的与离子电流/剂量测定有关的发光光谱
机译： 使用光发射光谱仪/残留气体分析仪对离子电流进行辐射测量
