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一种能自动识别的基片架、识别方法及自动识别装置

摘要

本发明公开了一种基片架,包括基片架本体,在基片架本体上开设有一组与基片架的编号相对应的能使光信号穿过的条形光栅孔编码。本发明还公开了一种对连续镀膜生产线基片架的自动识别方法,包括如下步骤:1)通过光电开关检测在运动的基片架上开设的条形光栅孔编码,将条形光栅孔编码信息转换成对应的电脉冲信号;2)对电脉冲信号进行隔离整形;3)根据隔离整形后的电脉冲信号计算条形光栅孔编码信息;4)通过显示器显示或通过通信口传送步骤三输出的编码信息。本发明还公开了一种对连续镀膜生产线基片架的自动识别装置。采用本发明,结构简单、便于识别。

著录项

  • 公开/公告号CN101126153B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2010-05-26

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 深圳豪威真空光电子股份有限公司;

    申请/专利号CN200610062223.6

  • 发明设计人 许生;曹志刚;

    申请日2006-08-18

  • 分类号C23C14/54(20060101);G06K19/06(20060101);

  • 代理机构44223 深圳新创友知识产权代理有限公司;

  • 代理人彭家恩

  • 地址 518054 广东省深圳市南山区深南大道市高新技术工业村W1A区一楼

  • 入库时间 2022-08-23 09:04:40

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2018-05-18

    专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):C23C 14/54 变更前: 变更后: 申请日:20060818

    专利权人的姓名或者名称、地址的变更

  • 2012-01-18

    专利权的转移 IPC(主分类):C23C 14/54 变更前: 变更后: 登记生效日:20111208 申请日:20060818

    专利申请权、专利权的转移

  • 2012-01-18

    专利权的转移 IPC(主分类):C23C 14/54 变更前: 变更后: 登记生效日:20111208 申请日:20060818

    专利申请权、专利权的转移

  • 2010-05-26

    授权

    授权

  • 2010-05-26

    授权

    授权

  • 2008-04-16

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2008-04-16

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2008-02-20

    公开

    公开

  • 2008-02-20

    公开

    公开

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