公开/公告号CN101126153B
专利类型发明专利
公开/公告日2010-05-26
原文格式PDF
申请/专利权人 深圳豪威真空光电子股份有限公司;
申请/专利号CN200610062223.6
申请日2006-08-18
分类号C23C14/54(20060101);G06K19/06(20060101);
代理机构44223 深圳新创友知识产权代理有限公司;
代理人彭家恩
地址 518054 广东省深圳市南山区深南大道市高新技术工业村W1A区一楼
入库时间 2022-08-23 09:04:40
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-05-18
专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):C23C 14/54 变更前: 变更后: 申请日:20060818
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
2012-01-18
专利权的转移 IPC(主分类):C23C 14/54 变更前: 变更后: 登记生效日:20111208 申请日:20060818
专利申请权、专利权的转移
2012-01-18
专利权的转移 IPC(主分类):C23C 14/54 变更前: 变更后: 登记生效日:20111208 申请日:20060818
专利申请权、专利权的转移
2010-05-26
授权
授权
2010-05-26
授权
授权
2008-04-16
实质审查的生效
实质审查的生效
2008-04-16
实质审查的生效
实质审查的生效
2008-02-20
公开
公开
2008-02-20
公开
公开
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