一种用于光刻机调焦系统性能评价的装置及方法

摘要

一种用于光刻机调焦系统性能评价的装置和方法，其特点是：装置的运动系统将粗动系统和精动系统分开设计，在满足水平X向和垂向大行程运动及垂向高精度定位的同时保证了装置拆装灵活性和扩展性，保证控制精度的同时减少控制的复杂程度，实现了垂向大行程高精度的精密运动控制，保证了被评价调焦系统的测量光斑可以在硅片上的任意位置，实现了检测灵活性，对调焦系统性能评价方法和流程简便，可在精动系统一个行程内将调焦的重复性和精度全部验证完毕，节省时间，代码实现简便，同时整套装置亦可用于其他系统垂向性能检测和评价。