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公开/公告号CN1904544B
专利类型发明专利
公开/公告日2010-05-26
原文格式PDF
申请/专利权人 三丰株式会社;
申请/专利号CN200610107610.7
发明设计人 谷中慎一郎;阿部诚;原慎一;武富尚之;
申请日2006-07-26
分类号G01B9/02(20060101);
代理机构11105 北京市柳沈律师事务所;
代理人陶凤波;侯宇
地址 日本神奈川县
入库时间 2022-08-23 09:04:30
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2010-05-26
授权
2008-07-30
实质审查的生效
2007-01-31
公开
机译: 追踪式激光干涉仪
机译: 带有可调谐激光器的外差式干涉仪装置,外差式干涉仪,比较干涉仪和参考干涉仪
机译: 跟踪式激光干涉仪的反馈增益调整方法,装置及跟踪式激光干涉仪
机译:激光干涉仪可追踪的振动幅度测量
机译:使用单波长激光干涉仪对AlN / GaN分子束外延生长进行光学监控:一种追踪生长速率实时变化的简单方法
机译:使用带有直接可追踪激光干涉仪的原子力显微镜进行纳米级横向缩放
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机译:通过使用UF激光干涉仪模拟器的天基重力波干涉仪通过延时干涉仪减轻激光噪声。
机译:基于高速高分辨率外差式干涉仪误差模型的高稳定激光源设计
机译:光线追踪通过液晶点衍射干涉仪。 1998年罗切斯特大学激光能量学实验室高中三年级学生夏季研究项目:学生研究报告