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机译:使用带有直接可追踪激光干涉仪的原子力显微镜进行纳米级横向缩放
nanometrology; AFM; laser interferometer; calibration; uncertainty; traceable; certified reference material; SEM; optical diffractometer; SCANNING PROBE MICROSCOPY; HOMODYNE INTERFEROMETER; PITCH MEASUREMENTS; REAL-TIME; CALIBRATION; STANDARDS; ACCURATE; UNCERTAINTY; SYSTEM; AFM;
机译:使用带有直接可追踪激光干涉仪的原子力显微镜进行纳米级横向缩放
机译:共焦激光扫描显微镜/原子力显微镜系统的测力曲线开发
机译:使用正交扫描仪和校准激光干涉仪的校准原子力显微镜
机译:使用激光干涉仪的紧凑型计量原子力显微镜
机译:用原子力显微镜测量和了解原子长度尺度上的力。
机译:原子力显微镜悬臂抗弯刚度校准:迈向标准可追溯方法
机译:具有干涉仪和补偿弯曲台的可溯源原子力显微镜的研制
机译:用原子力显微镜原子尺度力映射