用于基板分解设备的最后一枚基板感知装置及其调整方法

摘要

本发明涉及一种用于基板分解设备的最后一枚基板感知装置及其调整方法，该装置包括支撑体、用来感知信号的传感器光纤检测头、聚光镜头、托板及基板限位柱；所述托板平行位于待分解的电阻基板下方，且与基板分解设备升降机构相连接；所述基板限位柱分别垂直设于托板上表面的四角；所述支撑体纵向支撑部分呈矩形条状体，上端垂直于支撑部分平行延伸形成定位传感器光纤检测头的横梁；支撑体平行基板限位柱设置于托板一侧，定位连接于基板分解设备的底板上；支撑体横梁上对应电阻基板上下间隔设有两传感器光纤检测头，其前端连接设有聚光镜头。采用该装置进行定位调整，使电阻基板在移送时，可通过传感器光纤检测头准确反馈最后一枚基板的位置信息。