电子工业用二氧化硅粉料的生产方法

摘要

一种电子工业用二氧化硅粉料的生产方法，以工业硅酸钠和盐酸为原料，工艺步骤包括：(1)沉淀反应制备硅酸溶胶；(2)过滤、洗涤；(3)干燥；(4)煅烧。沉淀反应时采用加入盐析剂和分散剂的措施避免溶液从碱性范围过渡到酸性范围产生凝胶，盐析剂为氨水，分散剂为酒精、甘油、丙酮及乙酸乙酯中的任一种。此种方法所生产的SiO₂粉料，各杂质含量均小于50ppm，费氏粒度小于0.5μm，是电子元件的优质掺杂材料。