集成压电可动微透镜锥形亚波长近场光探针阵列

摘要

本发明提供一种集成压电可动微透镜增强型锥形亚波长近场光探针阵列，由集成压电可动微透镜和带金属沟槽结构的锥形亚波长通光孔阵列组成，在减薄的SOI衬底上制作有锥形孔，锥形孔内表面及周围都镀有金属膜层，在锥形孔周围形成有纳米金属沟槽结构，所述锥形孔上集成压电可动微透镜，锥形孔从入射表面向出射表面呈线性逐渐减小，即在SOI衬底上形成锥形亚波长通光孔，锥形亚波长通光孔孔径的锥形角在0～90°。本发明运用压电式可动微透镜和近场光探针的集成工艺，在近场光探针上制备角度可调聚焦微透镜，通过聚焦提高入射光的功率密度和控制入射光角度以激发更强的表面等离子体激元，提高近场光探针的通光效率和输出光功率。