公开/公告号CN114808122B
专利类型发明专利
公开/公告日2023.05.09
原文格式PDF
申请/专利权人 杭州中欣晶圆半导体股份有限公司;宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司;
申请/专利号CN202210382675.1
申请日2022.04.13
分类号C30B29/06(2006.01);C30B11/00(2006.01);
代理机构杭州融方专利代理事务所(普通合伙) 33266;
代理人沈相权
地址 311201 浙江省杭州市钱塘新区东垦路888号
入库时间 2023-06-01 21:37:21
机译: 监控固液界面的系统和方法
机译: 监控固液界面的方法和系统
机译: 监控固液界面的方法和系统