高功率脉冲磁控溅射负载打弧的快速响应电源保护电路

摘要

本发明公开了一种高功率脉冲磁控溅射负载打弧的快速响应电源保护电路，包括监测采样反馈电路和电源驱动控制单元，监测采样反馈电路包括比较器、预置信号生成模块和电流隔离采样模块，预置信号生成模块产生负载打弧保护的预置信号；电流隔离采样模块用于采集等离子体放电回路中的脉冲电流并转换为脉冲电压作为采样信号；比较器将预置信号与采样信号进行比较，生成反馈信号反馈至电源驱动控制单元；电源驱动控制单元接收触发信号和反馈信号，生成驱动信号以控制电源是否供电。本发明应用时若出现负载打弧，能立即停止当前脉冲溅射，下一个脉冲可正常溅射，有效地保护了高功率脉冲磁控溅射电源，并能解决磁控溅射打弧靶面中毒、溅射效率低的问题。