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张凤晓; 王浪平;
装甲兵技术学院通信教研室,吉林长春130117;
调制脉冲; 磁控溅射; HPPMS; MPP;
机译:叠加的高功率脉冲和中频磁控溅射:脉冲持续时间的作用和中频的平均功率
机译:(Cr_(1-x)Al-x)N:直流,中频脉冲和高功率脉冲磁控溅射的注塑部件比较
机译:开发用于高功率脉冲磁控溅射(HiPIMS)的脉冲电源,该电源最适合用于医疗用途的类金刚石碳(DLC)膜形成
机译:调制脉冲输出方案高功率脉冲磁控溅射的脉冲设计等离子体谱
机译:用于互连金属化的高功率脉冲磁控溅射和调制脉冲功率溅射的比较。
机译:高功率脉冲磁控溅射
机译:中频,高功率脉冲和直流磁控溅射在低温生长低摩擦耐磨无定形氮化碳薄膜
机译:IGBT控制固态调制器高压电源的设计,构建和运行结果用于氚(apT)项目加速器生产低能示范加速器的高功率射频系统
机译:在金属镀膜室中用大功率脉冲磁控溅射电源预处理和/或镀膜体,包括使电源脉冲彼此同步,并通过电源产生气体和金属离子
机译:磁控溅射方法和确定施加到磁控溅射源的电源的功率调制补偿函数的方法
机译:磁控溅射的方法和确定用于磁控溅射源的电源的功率调制补偿函数的方法
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