由于改进的回归移动而具有减少的额外振动的加速度计

摘要

本发明涉及一种包括移动质量(5)和固定部分(2)的加速度计，该加速度计使用电容的变化以便检测质量(5)的移动。本发明的加速度计包括第一系列电极(4)，它们连接到质量(5)并且与连接到固定部分(2)的一系列电极(3)相互交错。根据本发明，每个移动电极(4)与相邻的固定电极(3)一起形成根据移动质量(5)的位置来变化的电容。该加速度计进一步包括电子电路，该电子电路用以：(i)检测移动质量(5)与固定部分(2)之间至少一个电容的变化，作为移动质量的位移的指示，以及(ii)生成静电回归力以便使质量(5)回归到其初始位置。而且，前述电子电路被设置用于根据在前的位移测量来生成静电回归力。本发明的特征在于，具体选择这样生成的反复的静电回归力，以使其机械功率频谱(10，20)具有在移动质量(5)和/或固定部分(2)的电极(4)的机械共振频率处功率基本上为零的区。