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外观检查装置、外观检查方法以及可安装在外观检查装置上的边缘部检查单元

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摘要

本发明提供一种外观检查装置、外观检查方法以及可安装在外观检查装置上的边缘部检查单元。该外观检查装置具有宏观检查部(10)和微观检查部(11)，在微观检查部(11)中，将检查台(31)与显微镜(32)安装在安装板(30)上。检查台(31)可分别在X方向、Y方向、Z方向上移动，还可在θ方向上旋转。而且，在安装板(30)上固定有边缘部检查部(12)，该边缘部检查部(12)取得晶片(W)的边缘部的放大像。边缘部检查部(12)被配置为拍摄保持在检查台(31)上的晶片(W)的边缘部。

著录项

  • 公开/公告号CN100583407C

    专利类型发明授权

  • 公开/公告日2010-01-20

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 奥林巴斯株式会社;

    申请/专利号CN200680014011.9

  • 发明设计人 横田敦俊;蛇石广康;土坂新一;

    申请日2006-04-26

  • 分类号H01L21/66(20060101);

  • 代理机构11127 北京三友知识产权代理有限公司;

  • 代理人黄纶伟

  • 地址 日本东京

  • 入库时间 2022-08-23 09:03:42

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2010-01-20

    授权

    授权

  • 2008-06-18

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2008-04-23

    公开

    公开

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