法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-10-17
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 14/12 授权公告日:20091223 终止日期:20160826 申请日:20050826
专利权的终止
2017-10-17
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 14/12 授权公告日:20091223 终止日期:20160826 申请日:20050826
专利权的终止
2009-12-23
授权
授权
2009-12-23
授权
授权
2009-12-23
授权
授权
2008-05-28
实质审查的生效
实质审查的生效
2008-05-28
实质审查的生效
实质审查的生效
2008-05-28
实质审查的生效
实质审查的生效
2007-12-26
专利申请权、专利权的转移专利申请权的转移 变更前: 变更后: 登记生效日:20071116 申请日:20050826
专利申请权、专利权的转移专利申请权的转移
2007-12-26
专利申请权、专利权的转移专利申请权的转移 登记生效日:20071116 变更前: 变更后: 申请日:20050826
专利申请权、专利权的转移专利申请权的转移
2007-12-26
专利申请权、专利权的转移专利申请权的转移 变更前: 变更后: 登记生效日:20071116 申请日:20050826
专利申请权、专利权的转移专利申请权的转移
2007-12-26
专利申请权、专利权的转移专利申请权的转移 登记生效日:20071116 变更前: 变更后: 申请日:20050826
专利申请权、专利权的转移专利申请权的转移
2007-12-26
专利申请权、专利权的转移专利申请权的转移 变更前: 变更后: 登记生效日:20071116 申请日:20050826
专利申请权、专利权的转移专利申请权的转移
2007-02-28
公开
公开
2007-02-28
公开
公开
2007-02-28
公开
公开
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机译: 用于分子束表皮和分子束表皮装置的分子束源闸门以及使用该分子束源闸门生产膜片
机译: 用于累积有机薄膜的分子束源
机译: 用于有机薄膜沉积的分子束源