用基本原理仿真辅助半导体制造过程的系统和方法

摘要

本发明提供了一种用于辅助半导体处理工具所执行的处理的方法、系统和计算机可读介质。所述方法包括输入与半导体处理工具所执行的处理有关的数据以及输入与半导体处理工具有关的基本原理物理模型。然后使用输入数据和物理模型来执行基本原理仿真以提供基本原理仿真结果，并使用基本原理仿真结果来辅助半导体处理工具所执行的处理。