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沉积系统以及用于测量沉积系统的沉积厚度的方法

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摘要

一种测量沉积材料的沉积厚度的方法，包括利用传感器测量从喷射室喷射的材料的沉积率，以及利用采用所测量的沉积率和传感器的使用时间的寿命值作为参数的转化公式计算沉积在基板上的材料的沉积厚度。

公开/公告号CN100582294C

专利类型发明授权
公开/公告日2010-01-20

原文格式PDF
申请/专利权人三星移动显示器株式会社;
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申请/专利号CN200610000429.6
发明设计人黄珉婷;李星昊;
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申请日2006-01-05
分类号C23C14/54(20060101);C23C16/52(20060101);H01L21/205(20060101);H01L51/56(20060101);G05D5/02(20060101);
代理机构11018 北京德琦知识产权代理有限公司;
代理人罗正云;宋志强
地址韩国京畿道
入库时间 2022-08-23 09:03:42

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2012-11-21

专利权的转移 IPC(主分类):C23C14/54 变更前: 变更后: 登记生效日:20121018 申请日:20060105

专利申请权、专利权的转移
2012-11-21

专利权的转移 IPC(主分类):C23C 14/54 变更前: 变更后: 登记生效日:20121018 申请日:20060105

专利申请权、专利权的转移
2010-01-20

授权

授权
2010-01-20

授权

授权
2009-02-11

专利申请权、专利权的转移(专利申请权的转移) 变更前: 变更后: 登记生效日:20090109 申请日:20060105

专利申请权、专利权的转移(专利申请权的转移)
2009-02-11

专利申请权、专利权的转移(专利申请权的转移) 变更前: 变更后: 登记生效日:20090109 申请日:20060105

专利申请权、专利权的转移(专利申请权的转移)
2006-10-25

实质审查的生效

实质审查的生效
2006-10-25

实质审查的生效

实质审查的生效
2006-08-30

公开

公开
2006-08-30

公开

公开

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