一种确定有机薄膜光学常数和厚度的方法

摘要

本发明公开了一种确定有机薄膜光学常数和厚度的方法。所述方法的实现过程如下：在光学抛光的透明平面基板的一个表面制备有机薄膜，利用分光光度计测量基板表面有机薄膜的透射率光谱曲线和反射率光谱曲线；确定测量波长范围内有机薄膜的折射率和消光系数的色散模型，以色散模型中的常数、折射率非均匀性、有机薄膜的厚度、单色仪的狭缝宽度等作为参数，对测量光谱进行多参数拟合，确定薄膜的折射率和消光系数。本发明公开的一种确定有机薄膜的光学常数和厚度的方法，通过将单色仪的狭缝宽度等参数引入多参数拟合测量光谱的过程，实现了利用分光光度精确测量有机薄膜的光学参数的方法。