MEMS传感器的驱动装置及其驱动方法、使用MEMS的有源传感器

摘要

如果采用从外部输入共振频率的结构，则不能跟随对应于样本偏差或温度变化的共振频率的变化，因此，振幅会因外部环境或样本偏差而较大的变化。本发明提供一种MEMS传感器的驱动装置及其驱动方法、以及使用MEMS的有源传感器。在驱动MEMS传感器(10)时，通过检测部(20)检测MEMS传感器(10)的振子的振动，由反馈电路(30)放大该检测部(20)检测到的信号，并将其作为驱动信号反馈给MEMS传感器(10)，由此使MEMS传感器(10)自激振荡。