一种低通量微阵列生物芯片的制备装置及其制作方法

摘要

本发明涉及一种低通量微阵列生物芯片的制备装置，所述的装置是由硅基微喷头阵列芯片、PDMS弹性薄膜和弹性环、SU-8基的挤压头阵列、钕铁硼磁致驱动器和样品载波片构成的；其中PDMS弹性薄膜与硅基微喷头阵列芯片采用紫外胶实现粘结和微通道密封，SU-8基的挤压头阵列与微喷口对准并将整个钕铁硼磁致驱动器通过PDMS弹性环固定在PDMS薄膜表面，载波片承载微喷口挤出的微液滴点阵列。利用硅深反应离子刻蚀和微机电加工系统技术在硅基片上制作含有进样池、微通道、微贮液池和微喷口等微结构，根据磁致驱动原理制作驱动器，并用于驱动PDMS弹性薄膜，采用PDMS和环氧树脂将制成的独立部件进行封装而制成。具有操作简单，易于普及特点。