公开/公告号CN112067405B
专利类型发明专利
公开/公告日2022.12.23
原文格式PDF
申请/专利权人 南京南智先进光电集成技术研究院有限公司;
申请/专利号CN202011075854.8
申请日2020.10.10
分类号G01N1/28;G01Q30/20;
代理机构北京弘权知识产权代理有限公司;
代理人逯长明;许伟群
地址 210000 江苏省南京市江北新区研创园团结路99号孵鹰大厦690室
入库时间 2023-01-09 21:32:16
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-12-23
授权
发明专利权授予
机译: 平面图从电路层结构制备TEM样品
机译: 平面图从电路层结构制备TEM样品
机译: 制备平面TEM样品的装置和过程