用于测量固态器件中的薄层的方法

摘要

使用声学信号来测量压焊层的厚度的方法。该方法通过以下来实现：将声波施加到层化物体，该声波使得从不同界面反射主回波和次回波；检测和数字化回波以产生数字时间序列，处理该数字时间序列以去除噪声；使用与主回波匹配的滤波器滤波该时间序列；定位经滤波的时间序列的最大值的时间位置和幅度；使用所获得的时间位置和幅度时间平移和定标主回波；从所述时间序列中减去主回波变换模型以获得经净化的时间序列；使用与次回波匹配的滤波器滤波所述经净化的时间序列；定位所述次回波滤波的时间序列的最大值的时间位置；从主和次回波的时间定位之间的差中确定穿越时间；和确定压焊层厚度，其等于所测量的穿越时间的一半乘以在压焊层中声波或者脉冲的速度。