一种微电子刻蚀系统中受控部件的异常监测装置及方法

摘要

本发明所述的一种微电子刻蚀系统中受控部件的异常监测装置及方法，获取各受控部件的工作状态参数，并根据受控部件检测单元检测到的各受控部件的工作状态参数，与设定的相应受控部件的安全工作状态参数进行比较，判别所述的受控部件是否工作正常，如不正常则输出关于相应受控部件异常的报警信息。根据本方法中抛出的告警信息指示维护人员检查相应受控部件，从而避免生产出不良的工艺产品。同时，需要监测的受控部件的输入输出通道可以灵活配置，在很大程度上降低了微电子刻蚀系统受控部件的异常误判和误发漏判，并且非常容易的查处故障的受控部件。