晶质化SiO₂-Al₂O₃混合氧化物蒸镀材料的制备方法

摘要

一种晶质化SiO₂-Al₂O₃混合氧化物蒸镀材料的制备方法，先置二氧化硅-氧化铝混合氧化物粉体，按重量百分比由SiO₂(50%-90%)和Al₂O₃(10%-50%)组成，将该混合粉体置于真空中频感应炉石墨坩埚中，在真空度≤1×10^-2Pa下用中频源感应石墨坩埚加热到1650℃-1750℃，形成SiO₂-Al₂O₃混合氧化物熔融体，对该熔融体通过缓慢沉降冷却，形成预熔融晶质化SiO₂-Al₂O₃混合氧化物蒸镀材料。制备过程中出现的水汽和残留气体采用冷阱捕集器捕集，深冷温度≤-120℃。本发明用高真空中频感应炉感应加热石墨坩埚并缓慢沉降长晶法制备预熔融晶质化SiO₂-Al₂O₃混合氧化物，作为蒸镀高级光学薄膜用的高纯高致密度起始材料。本例可缩短生产周期，节约生产成本。