尺寸测量装置、尺寸测量方法以及半导体制造系统

摘要

本公开涉及排除了尺寸测量所需的时间的缩短和操作者引起的误差的尺寸测量装置。提出了一种使用输入的图像来对测量对象的尺寸进行测量的尺寸测量装置，其特征在于，通过机械学习生成输入的图像的各区域按区域区分地被附带了标签的第1图像，基于生成的第1图像，来生成包含表示第1图像的各区域的标记的中间图像，基于输入的图像和生成的中间图像，来生成输入的图像的各区域按区域区分地被附带了标签的第2图像，使用生成的第2图像来求取相邻的区域的边界线的坐标，使用求取的边界线的坐标，来求取对测量对象的尺寸条件进行规定的特征点的坐标，使用求取的特征点的坐标，来测量测量对象的尺寸。