公开/公告号CN113424757B
专利类型发明专利
公开/公告日2022.11.08
原文格式PDF
申请/专利权人 广州极飞科技股份有限公司;
申请/专利号CN202110736486.5
发明设计人 陈有生;
申请日2021.06.30
分类号G05B1/00;A01G25/16;A01G25/02;
代理机构北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙);
代理人张欣欣
地址 510000 广东省广州市天河区高普路115号C座
入库时间 2022-11-28 17:55:33
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-11-08
授权
发明专利权授予
机译: 有机电子设备,有机电子设备的制造方法,有机电子设备的制造装置,基板处理系统,保护膜的结构以及存储有控制程序的存储介质
机译: 有机电子设备,有机电子设备的制造方法,有机电子设备的制造装置,基板处理系统,保护膜的结构以及存储有控制程序的存储介质
机译: 有机电子设备,有机电子设备的制造方法,有机电子设备的制造装置,基板处理系统,保护膜的结构以及存储有控制程序的存储介质