一种楔形误差补偿装置及其相应的补偿楔形误差的方法

摘要

本发明提供一种对楔形误差进行补偿的装置，装置包括：主体单元，主体单元包括固定下部、浮动上部，且固定下部和浮动上部通过柔性单元连接，柔性单元允许浮动上部相对固定下部可RX旋转、RY旋转和Z平移；承载单元，浮动上部的表面设有承载晶圆平面，晶圆与掩膜版之间的位置设置有一组球形误差补偿结构，球形误差补偿结构可在Z向上产生预定范围内的运动，从而控制掩膜版与晶圆之间的相对距离；楔形误差补偿单元，楔形误差补偿单元包括楔形块、作用于楔形块的上行动力装置和作用于主体单元的下拉动力装置，且下拉动力装置提供比上行动力装置更大的作用力，从而允许楔形块自锁。本发明还提供相应的减少楔形误差的方法，及其装置的用途。