光学系统透过率检测装置及其透过率和反射率检测方法

摘要

本发明提供了一种光学系统透过率检测装置及其透过率和反射率检测方法，光学系统透过率检测装置包括光路调整单元、探测光测量单元和参考光测量单元，光路调整单元包括分光镜、小孔光阑和反射器，分光镜用于将入射光分为透射的初次探测光和反射的参考光，小孔光阑和反射器相配合用于根据需要对初次探测光进行反射形成反射探测光；探测光测量单元用于对反射探测光进行检测；参考光测量单元用于对参考光进行检测；探测光测量单元、参考光测量单元、分光镜和小孔光阑位于待测光学元件的同一侧。本发明的技术方案能够集中关键探测部件，优化探测布局，便于实现电气一体化设计，且能够提高测量精度。