公开/公告号CN113655033A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-11-16
原文格式PDF
申请/专利权人 上海微电子装备(集团)股份有限公司;
申请/专利号CN202010368195.0
申请日2020-04-30
分类号G01N21/55(20140101);G01N21/59(20060101);G01M11/02(20060101);
代理机构31295 上海思捷知识产权代理有限公司;
代理人王宏婧
地址 201203 上海市浦东新区张东路1525号
入库时间 2023-06-19 13:16:59
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-11-04
授权
发明专利权授予
机译: 透过率管理装置、透过率管理方法、透过率管理プログラム及び透过率管理システム
机译: 气体透过室,气体透过率测定装置及气体透过率测定方法
机译: 相对的透过膜的各个元件的透过量和测定物质导电率的透过率的装置