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一种透过率和反射率的检测装置和检测方法

摘要

本发明公开了一种透过率和反射率的检测装置和检测方法,一种透过率和反射率的检测装置,利用分光镜将入射光一分为二,一路作为参照光路、另一路作为测试光路。本发明透过率和反射率的检测装置,即可实现对平面元件透射率和反射率的检测,也可实现对曲面元件透射率和反射率的检测,且无需陪镀片,大大降低了镀膜成本,镀膜时不再需要额外的平面陪镀片;进一步,本申请还可在全波段工作。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-04-02

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01M11/02 申请日:20180821

    实质审查的生效

  • 2019-03-08

    公开

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