光学系统透过率检测装置及光学系统透过率检测方法

摘要

本发明提供了一种光学系统透过率检测装置及光学系统透过率检测方法，光学系统透过率检测装置包括光路调整单元、探测光测量单元和参考光测量单元，光路调整单元包括分光镜和反射器，分光镜用于将入射光分为透射的初次探测光和反射的参考光，反射器用于对初次经过待测物镜组件的初次探测光进行反射形成反射探测光，且反射探测光能再次经过待测物镜组件后到达探测光测量单元；探测光测量单元用于检测反射探测光；参考光测量单元用于检测参考光；探测光测量单元和参考光测量单元位于待测物镜组件的同一侧。本发明的技术方案能够集中关键探测部件，优化探测布局，便于实现电气一体化设计，并提高装置的通用性和适用性，以及进一步提高测量精度。