超声波换能器、超声波扬声器及超声波换能器驱动控制方法

摘要

提供一种超声波换能器、超声波扬声器以及超声波换能器的驱动控制方法，在静电型换能器中，抑制输出振动波形的正负非对称失真。超声波换能器具有：固定电极；振动膜，与该固定电极的表面对置设置并具有导电层；以及保持前述固定电极和振动膜的部件，该超声波换能器通过在前述固定电极和振动膜的导电层之间施加交流信号来产生超声波，前述固定电极的一部分形成为驱动超声波换能器的驱动用固定电极，一部分形成为检测前述振动膜的振幅的检测用固定电极，并且该超声波换能器具有如下单元，即，其根据由前述检测用固定电极所检测出的振动膜的振幅大小、控制要施加给前述驱动用固定电极的信号、使得该振动膜的振幅大小与输入信号成比例地振动的单元。