一种基于衬底集成波导双重入式谐振腔的差分湿度传感器

摘要

一种基于衬底集成波导双重入式谐振腔的差分湿度传感器，将两个重入式谐振腔纵向地结合在一起，两腔体分别做传感谐振腔和参考谐振腔，在传感谐振腔的凹槽区域沉积可吸附湿润空气中水分子的敏感材料，水分子扩散到敏感材料中会导致其内在特征发生变化，从而在传感谐振腔内激发强诱导电场与吸湿材料间的相互作用。在参考谐振腔内激发强诱导电场与湿润空气介质间的相互作用，利用两个腔体对应的金属栅网，中间空气填充型介质基板和电容柱金属化通孔，从而获得一种结构紧凑，湿润空气进出自由，上下流通性强，湿润空气的水分子能够富集在腔体内与吸湿材料充分反应，元器件又相互独立的高灵敏度和高分辨率的湿度传感器。