应力传感器电路和测量机械应力的方法

摘要

本发明涉及应力传感器电路和测量机械应力的方法。一种应力传感器，包括基板和设置在其上的桥接电路。桥接电路耦接在输出节点和接地节点之间。桥接电路包括第一分支和第二分支，第一分支具有第一电阻器R1，第一电阻器R1具有第一取向并且在第一中间节点处耦接到调谐电阻器Rtune。第二分支包括第二电阻器，其具有不同于第一取向的第二取向，并且在第二中间节点处耦接到可变电阻器Rvar。桥接电路包括放大器，其具有耦接到第二中间节点的正输入端子，以及耦接到第一中间节点的负输入端子。放大器根据施加到基板的机械应力在输出节点处产生电压输出。Rvar基于电压输出是非线性可调谐的。