模斑转换器中楔形结构的制备方法及楔形结构

摘要

本公开提供了一种模斑转换器中楔形结构的制备方法及楔形结构，其中，模斑转换器中楔形结构的制备方法包括：提供一衬底；在上述衬底上通过至少两次接触式曝光形成阶梯式光刻胶层；通过热融上述阶梯式光刻胶层，得到楔形图案；通过刻蚀，将上述楔形图案转移至上述衬底上，得到上述楔形结构。