公开/公告号CN112985298B
专利类型发明专利
公开/公告日2022.09.20
原文格式PDF
申请/专利权人 上海机器人产业技术研究院有限公司;
申请/专利号CN202110180242.3
申请日2021.02.08
分类号G01B11/24;
代理机构上海璀汇知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人王文颖
地址 200063 上海市普陀区武宁路509号18楼
入库时间 2022-09-26 23:21:11
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-09-20
授权
发明专利权授予
机译: 使用电子显微镜的图案尺寸测量方法,图案尺寸测量系统以及监视电子显微镜设备随时间变化的方法
机译: 使用电子显微镜的图案尺寸测量方法,监视电子显微镜的时间变化的方法以及装置图案尺寸测量系统
机译: 使用电子显微镜的图案尺寸测量方法,图案尺寸测量系统以及监视电子显微镜设备随时间变化的方法