法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-01-21
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/66 授权公告日:20090812 终止日期:20131207 申请日:20071207
专利权的终止
2009-08-12
授权
授权
2008-07-16
实质审查的生效
实质审查的生效
2008-05-21
公开
公开
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