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复合故障机制的临界面积的确定方法

摘要

公开了一种基于独立和依存复合故障机制两者计算临界面积的方法。通过对复合机制中的各个简单故障机制产生由第三维z轴上的值代表在点x,y的各单一故障机制的临界缺陷尺寸的多边区域构成的图,计算该临界面积。为了识别相交的子区域,这些图被重叠并且各图的各个区域的平面(即,顶面)被投影到x,y面上。各子区域内的主导故障机制基于预定Boolean式的解被识别,并且,为了获得复合故障机制的总临界面积,所有的子区域的临界面积被累加。

著录项

  • 公开/公告号CN100527377C

    专利类型发明授权

  • 公开/公告日2009-08-12

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 国际商业机器公司;

    申请/专利号CN200710110045.4

  • 申请日2007-06-12

  • 分类号

  • 代理机构中国国际贸易促进委员会专利商标事务所;

  • 代理人康建忠

  • 地址 美国纽约

  • 入库时间 2022-08-23 09:03:02

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2016-08-03

    未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/66 授权公告日:20090812 终止日期:20150612 申请日:20070612

    专利权的终止

  • 2009-08-12

    授权

    授权

  • 2008-04-02

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2008-02-06

    公开

    公开

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