公开/公告号CN100527377C
专利类型发明授权
公开/公告日2009-08-12
原文格式PDF
申请/专利权人 国际商业机器公司;
申请/专利号CN200710110045.4
申请日2007-06-12
分类号
代理机构中国国际贸易促进委员会专利商标事务所;
代理人康建忠
地址 美国纽约
入库时间 2022-08-23 09:03:02
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-08-03
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/66 授权公告日:20090812 终止日期:20150612 申请日:20070612
专利权的终止
2009-08-12
授权
授权
2008-04-02
实质审查的生效
实质审查的生效
2008-02-06
公开
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