基于水平狭缝平板和光子晶体线缺陷波导的电光调制器

摘要

本发明公开了一种基于水平狭缝平板和光子晶体线缺陷波导的电光调制器。包括：1×2耦合器，两条干涉臂波导，2×1耦合器和电极构成的马赫-曾德尔电光调制器。两条结构相同的干涉臂波导在垂直方向上采用水平狭缝平板波导结构，干涉臂波导在水平方向采用二维光子晶体线缺陷波导结构。半导体材料层和有电光材料层的复合结构为光波导的芯层。在水平方向利用光子晶体周期结构的禁带，在垂直方向利用狭缝波导的强限制效应来限制光场分布。电光材料和硅基的复合芯层结构结合两者的优点，使调制器工作在低驱动电压。狭缝波导的强限制效应和光子晶体波导的慢光效应减小结构体积。器件制作工艺具有MOS兼容性，使器件易于集成和扩展，方便制造。